Un nouveau systeme de Test de Wafers de 300mm: Meme Temps de Test Que Pour 200mm

Un nouveau systeme de Test de Wafers de 300mm: Meme Temps de Test Que Pour 200mm

Cleveland, Ohio, Janvier 2004 - Keithley Instruments annonce la sortie de son dernier modèle, le S680DC/RF, qui est une extension de la série S680 pour le test paramétrique. Ce nouveau modèle permet de contrôler des wafers de 300 mm dans le même temps que ceux de 200 mm, grâce au nouveau logiciel de test en parallèle SimulTestT optionnel (breveté) qui permet de mesurer jusqu'à 9 composants simultanément en une seule passe avec le prober. Le rendement s'en trouve d'autant plus accéléré grâce à une unité générateur/ mesureur (SMU) qui apporte plus de rapidité et de souplesse pour les communications numériques tout en simplifiant la programmation du test en parallèle. Ces SMU conservent les fonctionnalités de mesure de faibles courants et de fortes puissances des modèles précédents avec une corrélation avec les mesures des autres appareils déjà en service. Un logiciel optionnel AdaptTest ajoute de l'intelligence au processus de test des wafers, ce qui permet au S680 DC/RF de changer de programmes de test automatiquement et en temps réel d'après les résultats basés sur le niveau. Utilisé avec des structures appropriées, les fonctionnalités inégalées du test RF permettent d'exécuter des tests DC et RF (CC et HF) indépendants et simultanés jusqu'à 40 GHz avec des probers séparés. L'automatisation SECS/GEM 300mm simple fil est totalement conforme aux normes usine SEMI et GJG. Sa souplesse d'architecture permet l'intégration sans problème des fonctions d'automatisation à chaque étape de la production.

Des options avancées du S680DC/RF, tant sur le plan du matériel que du logiciel sont aussi disponibles à faible coût, et renforcent les performances des systèmes de la série S600 existants; cette possibilité permet ainsi de conserver le même équipement avec des performances de pointe et de l'utiliser tout au long des nouvelles générations technologiques. Ainsi, il apparaît que cette plateforme extensible s'adapte aisément aux nouveaux besoins de mesure qui émergent actuellement, tels que les réductions réglementaires de conception, les nouveaux processus, nouveaux matériaux et nouveaux composants.

Application et marchandisation
La série S600 est utilisée par les fabricants de wafers dans le monde entier pour vérifier les performances et la fiabilité d'un composant à partir des mesures de ses paramètres les plus critiques tout au long du cycle de production. Ils sont utilisés dans une très grande diversité d'environnements de test, tels que le contrôle de processus, le traitement et la mise au point des équipements et leur optimisation, leur qualification, le test d'acceptation du wafer et même la modélisation du composant et sa caractérisation. Néanmoins, les tendances dans l'industrie ont convergé pour aboutir à une production de composants de sensibilité plus élevée et à moindre coût en termes de test. Ces tendances apportent également une plus grande densité de CI sur les wafers de 300 mm, un accroissement proportionnel de la taille d'échantillonnage et une mutation des produits mixtes vers des matériaux nouveaux comportant un plus grand nombre de circuits hybrides utilisés pour les signaux analogiques et mixtes. De plus, ils offrent une plus grande sensibilité sur le rapport coût /prix Les cadences de test toujours plus élevées et la réduction des coûts sont des points cruciaux pour l'amélioration et la rentabilité de ce mélange.

Les testeurs de la série S600 ont toujours réuni des capacités de cadences élevées à une parfaite intégrité de mesure, tout en offrant une grande souplesse de test. Le matériel et le logiciel du système S680 DC/RF renforcent ces capacités avancées avec des fonctions qui s'accommoderont des futurs accroissements de cadence et contribueront à l'abaissement des prix de revient qui deviendront alors une faible proportion du prix d'achat d'un système complet. Ces systèmes continuent à tirer vers le bas le prix du test dans le temps en élargissant au maximum la durée de vie de l'équipement, en permettant le réemploi du programme de test au fur et à mesure de l'évolution des conditions technologiques et en facilitant le passage à de nouveaux matériaux et composants. Ainsi, la voie est parfaitement claire est tracée au moins pour les deux prochaines échéances technologiques des semi-conducteurs. Le fait que le S680DC/RF partage la même structure de logiciel que tous les autres testeurs S600, réduit également le temps de formation des ingénieurs et opérateurs lors de l'ajout de nouveaux testeurs.

Descriptif produit
Lorsque le système S680DC/RF a été étudié, Keithley a amélioré le générateur / mesureur (SMU) de la série S600 en lui conférant des communications numériques plus rapides et plus souples en vue de simplifier la programmation pour les tests en parallèle. La conception de l'électronique broche par broche de tous les systèmes S600 accroît la sensibilité de mesure en réduisant les capacités parasites et les courants de fuite qui font obstacle aux performances des testeurs de la concurrence.

A l'encontre des autres testeurs, le S680DC/RF offre des chemins de mesure identiques, de haute résolution en mesure DC pour toutes les broches (64 max.), ainsi, il est le seul testeur paramétrique à offrir une résolution de mesure de 100 aA et 100 mV pour toutes les mesures sur les composants. Le test optionnel à 40 GHz permet une caractérisation précise de l'épaisseur équivalente (électrique) des couches diélectriques ultra minces, capables de détecter des anomalies de structure qui n'auraient pas pu être mises en évidence auparavant. Le S680 permet aussi des mesures de paramètres-s en production pour le contrôle de processus des circuits de hautes performances BiCMOS. En fournissant des mesures cohérentes et précises sur ces composants et autres semi-conducteurs, le S680DC/RF réduit le nombre des reprises pour vérifier si les lectures faites par l'utilisateur la première fois étaient effectivement correctes, d'où un abaissement des coûts.

La mise à jour du logiciel Test Environnent Software, KTE 5.1.0 apporte toutes les améliorations ajoutées depuis la version précédente. Le noyau de ce logiciel et ses multiples options apportent une intégrité optimale dans un minimum de temps, tout en réduisant les rebuts. Les résultats peuvent être facilement exportés vers de nombreux logiciels de modélisation bien connus, tels que BSIMProT, IC-CAP et UTMOSTT. Le paramétrage, le moteur d'exécution du KTE ainsi que ses interfaces d'analyse ont largement démontré qu'il est le plus simple de tous les systèmes de test paramétriques.

La cadence de test peut encore être augmentée avec le logiciel optionnel KTE AdapTest qui apporte de l'intelligence au processus de test des wafers. Ce logiciel permet au S6802DC/RF de changer automatiquement les plans de test et en temps réel, en fonction des résultats, éliminant ainsi la mesure des paramètres non critiques sur des wafers de bonne qualité. Le logiciel AdapTest constitue une excellente solution pour gérer des scénarios tels que les diagnostiques de traitements automatisés de premier niveau lorsqu'on obtient des résultats inattendus et pour remesurer un site antérieurement réputé bon. Cette option permet aussi des vérifications électriques automatisées de la qualité des contacts de probers avec le bloc, y compris un nettoyage de la pointe. Le système S680DC/RF dispose aussi d'un modèle opérationnel complet, pleinement intégré dans un environnement de production entièrement automatisé y compris le contrôle de la version et une ventilation automatique avec sa traçabilité ISO-9001.

Il existe aussi d'autres options pour des besoins spécifiques y compris pour le test des préamplificateurs de probers distants, les mesureurs de C-V, les générateurs d'impulsions, les mesureurs LCR, les compteurs de fréquences et les analyseurs de spectres. Cette souplesse lui permet d'être utilisé pour les composants silicium et les wafers III-V, les traitements des circuits analogiques RF-CMOS , les derniers composants à faibles fuites, les composants avancés pour mémoires, les nouveaux matériaux et les tests pilotés avec des faibles marges de bruit pour les circuits intégrés de communication sans fil.

Disponibilité
Keithley livre le système S680DC/RF dès maintenant. Pour plus d'information, contactez: www.keithley.com