Keithley Instruments annonce sa troisième génération de mesures HF sur les

Keithley Instruments annonce sa troisième génération de mesures HF sur les chips de semi-conducteurs

Cleveland, Ohio, Mars 2005  - Keithley, l'un des leaders mondiaux pour les solutions de mesures dans les domaines émergeants annonce sa troisième génération de fonctionnalités de mesures HF sur les chips de semi-conducteurs. Ces mesures sont destinées au contrôle de la production par le test paramétrique. Cette nouvelle génération est destinée au contrôle en production par des tests paramétriques. La particularité la plus importante de cette troisième génération est la fonctionnalité unique qui permet une surveillance continue, automatique et en temps réel de la production car elle réalise des mesures de qualité et, par conséquent, des résultats supérieurs. Si l'on ajoute une cadence de mesures élevée, un faible coût de fonctionnement et une utilisation des plus faciles par rapport aux autres produits du marché, ce nouveau système est unique par ses performances. De plus, sa fonctionnalité de mesure HF (option) en fait le seul système de test qualifié pour le contrôle de processus paramétrique des chips de 200 et 300 mm destinés aux circuits logiques et analogiques intégrés de hautes performances. 

Intégrité supérieure des mesures. La surveillance automatique et continue de l'intégrité des mesures est réalisée en faisant en sorte que le testeur détecte automatiquement les événements qui pourraient invalider l'étalonnage HF et déclencher automatiquement une action corrective telle qu'un ré-étalonnage accidentel. Les changements de la configuration du système, tels que le changement de carte capteurs, peuvent être paramétrés pour déclencher un ré-étalonnage inopiné. Il existe aussi des événements temporels de déclenchement, tels que l'étalonnage HF au bout d'un temps déterminé. Le stade ultime des événements de déclenchement est basé sur les mesures. Par exemple, pendant que le capteur indique le passage sur le prochain site, le testeur vérifie automatiquement en tâche de fond la qualité des contacts du capteur et lance un nettoyage automatisé si nécessaire.

Une haute intégrité de mesure permet au spécialiste HF de faire l'économie d'une inspection manuelle des courbes de données brutes afin de découvrir les anomalies éventuelles qui pourraient mettre en question la validité des mesures HF. Cette intégrité élimine aussi le coût élevé d'une remise en place d'un nouveau capteur et d'un recommencement du test afin de le rendre compatible avec des fabrications les plus efficaces de chips de 300 mm.

La cadence de fonctionnement la plus élevée. L'option HF de Keithley, associée au modèle S680 (Simul Test) et équipée de structures appropriées et de cartes de capteurs constitue le seul système de test HF sur le marché actuellement capable de faire simultanément des mesures DC et HF en parallèle avec le même capteur à contacts. Ceci apporte une cadence infiniment plus élevée qu'avec les méthodes similaires qui n'exécutent que des mesures DC et HF séquentielles. De plus et pour la première fois, il est possible d'extraire et de désenclaver en temps réel les paramètres HF à partir des paramètres mesurés en faisant appel à la plus grande base de données industrielle utilisée pour l'extraction paramétrique HF sans qu'un post-traitement soit nécessaire, ce qui économise un temps considérable et augmente la cadence.

De plus, lorsqu'il est associé avec le système de tests paramétriques S680, Keithley est le seul constructeur à disposer de la fonctionnalité "direct-dock" pour faire des mesures à 40 GHz. Les produits concurrents nécessitent un changement manuel des cartes de capteurs et ce changement doit être effectué par un spécialiste HF avec une clé dynamométrique suivi d'un ré-étalonnage qui est également manuel. Cette option HF de Keithley effectue le changement de carte de capteurs HF automatisé en une fraction du temps qu'il faudrait pour effectuer ces opérations manuellement, ce qui accroît d'autant la cadence globale des mesures. L'utilisation d'une telle carte contribue aussi à une meilleure intégrité des mesures en éliminant grandement les variations dues aux manipulations humaines et celles de système à système influençant les résultats de mesure HF. Du fait, qu'il n'est plus nécessaire d'avoir recours à un spécialiste en HF, le coût de l'opération est d'autant plus réduit. Cette fonctionnalité de changement de la carte automatisée est une nouvelle fonction dont dispose l'option HF de Keithley.

Globalement, la solution VNA proposée par Keithley permet d'atteindre des cadences de mesure beaucoup plus élevées et une meilleure reproductibilité par rapport aux autres solutions ENA ou PNA.

Un plus faible coût de fonctionnement. L'option SofTouch allonge notablement la durée de vie de la carte de capteurs en réduisant la durée du temps de conduite de celle-ci tout en respectant les critères de qualité des contacts de ces capteurs. Une évaluation en production avance que la durée de vie est allongée de 100 fois avec ce type de carte HF, ce qui réduit d'autant le coût de celle-ci. L'option Probe Card Manager s'intègre avec les cartes de capteur HF pour une surveillance continue et automatique des contacts et, du fait de l'allongement de leur durée de vie, en réduit d'autant les coûts.

L'option 40 GHz HF fonctionne avec les capteurs DC automatisés et existant en production. Ceci réduit le montant d'investissement initial au moins des deux tiers et abaisse les coûts de maintenance et de main-d'˛uvre par rapport aux autres offres de la concurrence qui nécessitent l'acquisition d'un capteur HF spécialisé. Les dépenses de fonctionnement sont aussi réduites de façon significatives en ce sens que les tests DC et HF peuvent être exécutés en une simple insertion et sur le même équipement ce qui élimine la nécessité de déplacer les ensembles de chips d'un testeur à l'autre (DC et HF) si ceux-ci sont spécifiques. De plus, il est à noter que, contrairement à la concurrence qui ne fait appel qu'à un seul fournisseur de carte de capteurs HF, Keithley propose maintenant sur ce nouveau système le choix entre trois fournisseurs. Ceci réduit encore davantage le coût des cartes de capteurs et permet de disposer d'une chaîne aux caractéristiques plus prévisibles et stables d'où un meilleur coefficient de confiance au cours de l'accélération de la production.

Un domaine d'applications des plus vastes. La fonctionnalité de mesure avec l'option HF de Keithley est dotée d'une suite de logiciels améliorés qui permet d'obtenir rapidement des gros volumes de données HF de qualité et une utilisation sur une vaste échelle d'applications. Ces logiciels sont aussi établis sur la base GUI dont les preuves ne sont plus à faire et s'est montrée efficace en production dans le monde entier.

En ce qui concerne le contrôle de processus paramétrique en production des transistors high-k, la méthodologie HF-CV remplace les mesures CV et MFCV traditionnelles, ce qui, en production, permet un contrôle électrique plus serré de l'épaisseur des portes dans le cas de circuits intégrés de hautes performances (inférieurs à 65 nm). En ce qui concerne les circuits analogiques de hautes performances, cette option HF ramène les temps de vérification du modèle HF à deux semaines ou moins, au lieu de deux mois ou plus par rapport aux autres options de mesures HF. La solution de Keithley apporte au client un avantage significatif par rapport à la concurrence en écourtant le temps avant la commercialisation. Les sociétés qui fabriquent des circuits intégrés HF peuvent aussi utiliser cette solution pour le contrôle de processus en production des circuits BiCMOS pour obtenir des facteurs de mérite tels que ft, ou fmax. De même, les sociétés fabricant des SOC peuvent utiliser cette fonctionnalité de mesure pour le test fonctionnel de circuits de référence et les facteurs de mérite tels que LNA et les filtres de téléphones cellulaires.

Profondeur du support HF. Les fonctionnalités de mesure HF de Keithley sont l'aboutissement de nombreuses années d'expérience auprès des fabricants dans le monde entier. Nos ingénieurs d'application ont acquis une expérience substantielle dans la mise en ˛uvre des tests HF en environnement de production. Cette expérience englobe les mesures de portes dans les transistors pour les mesures HF-CV dans le cas des circuits logiques de hautes performances, les inducteurs et les filtres pour les applications analogiques. De plus, les physiciens des semi-conducteurs de Keithley sont à votre disposition pour vous aider à interpréter les résultats de mesure et vous faire profiter de leur expérience pour mieux contrôler vos processus.

Disponibilité .La troisième génération de fonctionnalités de mesure HF de Keithley est disponible immédiatement à la fois pour les systèmes S680 et S470 expédiés de l'usine. Elle est aussi disponible sous forme d'option utilisable rétroactivement avec les systèmes S600 et S400 installés chez le client depuis une quinzaine d'années conformément à son engagement de livrer à ses clients des produits à la pointe de la technique mais compatibles rétroactivement avec les systèmes existants.
Pour plus d'informations sur cette nouvelle option HF, pour afficher une brève présentation du produit, pour obtenir plus d'informations sur l'un de ses produits HF ou sur les solutions de test de semi-conducteurs, visitez notre site: http://www.keithley.fr/pr/011.html ou contactez: www.keithley.com.

Keithley Instruments apporte des solutions à la mesure dans des secteurs de l'industrie électronique en pleine croissance, y compris les semi-conducteurs, les télécommunications, le médical et les composants. Des ingénieurs et scientifiques dans le monde entier utilisent les instruments de test de précision de Keithley, ses cartes enfichables, logiciels de surveillance de processus, tests en production et recherche fondamentale.